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セミナースケジュール

Dec.9_10:00_若手技術者にむけた前工程概論

日付 > Dec. 9
セミナーカテゴリ > 半導体製造技術
セミナーカテゴリ > 有料

若手技術者にむけた前工程概論

半導体若手エンジニア必須!半導体プロセス前工程技術講座を開催

2026/12/9(水) | 10:00 - 12:00
会議棟 701-702

参加費(税抜き価格)

  SEMI会員 一般 学生
Early Bird(10/7〜31) 8,000円 16,000円 1,600円
通常(11/1〜) 10,000円 20,000円 2,000円

※講演後SEMI University(Eラーニング)の1か月無料視聴リンクをご案内(参加者限定)

半導体製造技術の基本的特徴とCMOSの構造、MOS LSI作製に用いられる個別技術、用途、原理、装置の基本的構造について説明します。また、最先端微細化技術で直面する課題を示します。

※プログラムは都合により変更となる場合がございます。予めご了承ください。

プログラムアジェンダ

10:00 - 12:00
半導体プロセス 前工程概論
Toshiharu Suzuki
鈴木 俊治
半導体産業人協会
教育委員会
教育委員

半導体デバイス作製前工程(ウェハー工程)の特徴について説明した後、 デザインルール100nm 台のCMOSの作製フローについて説明する。その後、この作製に使用される、Lithography、Etching や不純物導入などの個別の技術について解説してゆく。その後にCu配線などの多層配線技術の課題とその作製方法について解説する。最後に、半導体前工程についてのまとめを行う。