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半導体ファブでは300mmウェ-ハ移行時にオンライン実行システムや自動搬送が導入され、データ活用による最適化が進んできました。しかし工程の複雑化、人材不足、サステナビリティと生産性の両立など課題は多く、解決にはスマートマニュファクチャリング・スマートファクトリーのアプローチが不可欠です。本セッションではそのようなアプローチの例を挙げ、課題解決に向けての業界の方向性を探ります。
※プログラムは都合により変更となる場合がございます。予めご了承ください。
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The Autonomous FAB Working Group has been launched in Korea to accelerate the realization of Autonomous FAB. Through cooperation, we are looking forward to identifying challenges for PM Automation and developing semiconductor-specific standards. Join us to face the huge wave of Autonomous FAB together.
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